Россия
Россия
Россия
Россия
ГРНТИ 50.51 Автоматизация проектирования
ББК 302 Проектирование
ТБК 5136 Системы автоматического проектирования
The possibilities of simultaneous use of several frequency scans for parametric identification of models of capacitance relaxation processes of a barrier semiconductor structure are discussed.
deep-level transient spectroscopy (DLTS), frequency scan, multiskan
1. Крылов, В.П. Комплексное моделирование физических процессов и аппаратных преобразований в релаксационной спектроскопии глубоких уровней / Крылов В.П., Богачев А.М., Пронин Т.Ю., Мищенко А.А. // Сборник научных трудов I Международной научно-практической конференции «САПР и моделирование в современной электронике» 22-23 ноября 2017 г. / под ред. Л.А. Потапова, А.Ю. Дракина. - Брянск: БГТУ, 2017. - С. 9 - 11.
2. Литвинов, В.Г. Релаксационная спектроскопия глубоких уровней и ее применение для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники / Литвинов В.Г., Гудзев В.В., Милованова О.А., Рыбин Н.Б. // Датчики и системы. - 2009. - №9. - С. 71 - 78.
3. Крылов, В.П. Корреляционная обработка и моделирование процессов релаксации емкости микроэлектронных барьерных структур / Крылов В.П., Богачев А.М., Мищенко А.А., Пронин Т.Ю. // V Международная научно-техническая конференция студентов, молодых ученых и специалистов "Энергосбережение и эффективность в технических системах", г. Тамбов 4-6 июня 2018 г. - Тамбов: ТГТУ. - С.136 - 137.
