TY CONF TI МУЛЬТИСКАНОВАЯ ИДЕНТИФИКАЦИЯ МОДЕЛЕЙ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ РЕЛАКСАЦИИ ЕМКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ БАРЬЕРНЫХ СТРУКТУР KW deep-level transient spectroscopy (DLTS) KW frequency scan KW multiskan JO САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ AU Крылов, В.П. AU Богачев, А.М. AU Пронин, Т.Ю. AU Мищенко, А.А. PY 2024 PB Брянский государственный технический университет