%0 Conference Article
%T МУЛЬТИСКАНОВАЯ ИДЕНТИФИКАЦИЯ МОДЕЛЕЙ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ РЕЛАКСАЦИИ ЕМКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ БАРЬЕРНЫХ СТРУКТУР
%A Крылов, В.П.
%A Богачев, А.М.
%A Пронин, Т.Ю.
%A Мищенко, А.А.
%K deep-level transient spectroscopy (DLTS), frequency scan, multiskan
%J САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ
%D 2024
%P 2
%I Брянский государственный технический университет