Аннотация (русский):
механическая обработка керамических материалов на практике представляет собой сложную технологическую задачу, в виду высокой твердости и повышенной хрупкости обрабатываемого материала. Качественное, высокопроизводительное шлифование керамики требует разумного подбора рабочих параметров технологического процесса, а также определения факторов, нарушающих целостность поверхностных и глубинных слоев обрабатываемого материала, что, в свою очередь, позволит удовлетворить высокие требования по выпуску партий годных полупроводниковых изделий. Автором научных исследований была выполнена серия экспериментов по обработке карбидокремниевых пластин с варьированием режимов и условий резания. Полученные результаты исследований послужат основой для формулировки и выдвижения индивидуальных рекомендаций по обработке карбидокремниевых структур с обеспечением требуемого качества поверхностного слоя при должном уровне производительности технологического процесса.

Ключевые слова:
карбид кремния, абразивная обработка, качество поверхностных структур

1. Бишутин, С.Г. Совершенствование технологии финишной абразивной обработки пластин из карбида кремния/ С.Г. Бишутин, С.С. Алехин// Вестник Брянского государственного технического университета. – 2018. – №5(66). – С. 9-13.

2. Алехин С.C. Формирование микротрещин в поверхностных слоях карбидокремниевых пластин при финишной абразивной обработке// LVII Международные научные чтения (памяти Б.Г. Галеркина) – Москва: EФИР,2019. – 98 c.