ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА ФИНИШНОЙ АБРАЗИВНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ
Авторы:
1.
Брянский государственный технический университет
(кафедра "Технология машиностроения", Аспирант)
Брянск, Брянская область, Россия
Брянск, Брянская область, Россия
Тип:
Статья конференции
Классификаторы:
УДК 62 Инженерное дело. Техника в целом. Транспорт
ГРНТИ 55.13 Технология машиностроения
ГРНТИ 55.19 Резание материалов
ГРНТИ 55.13 Технология машиностроения
ГРНТИ 55.19 Резание материалов
Язык материала:
русский
Ключевые слова:
карбид кремния, абразивная обработка, качество поверхностных структур
Аннотация (русский):
Аннотация: механическая обработка керамических материалов на практике представляет собой сложную технологическую задачу, в виду высокой твердости и повышенной хрупкости обрабатываемого материала. Качественное, высокопроизводительное шлифование керамики требует разумного подбора рабочих параметров технологического процесса, а также определения факторов, нарушающих целостность поверхностных и глубинных слоев обрабатываемого материала, что, в свою очередь, позволит удовлетворить высокие требования по выпуску партий годных полупроводниковых изделий. Автором научных исследований была выполнена серия экспериментов по обработке карбидокремниевых пластин с варьированием режимов и условий резания. Полученные результаты исследований послужат основой для формулировки и выдвижения индивидуальных рекомендаций по обработке карбидокремниевых структур с обеспечением требуемого качества поверхностного слоя при должном уровне производительности технологического процесса.
Аннотация: механическая обработка керамических материалов на практике представляет собой сложную технологическую задачу, в виду высокой твердости и повышенной хрупкости обрабатываемого материала. Качественное, высокопроизводительное шлифование керамики требует разумного подбора рабочих параметров технологического процесса, а также определения факторов, нарушающих целостность поверхностных и глубинных слоев обрабатываемого материала, что, в свою очередь, позволит удовлетворить высокие требования по выпуску партий годных полупроводниковых изделий. Автором научных исследований была выполнена серия экспериментов по обработке карбидокремниевых пластин с варьированием режимов и условий резания. Полученные результаты исследований послужат основой для формулировки и выдвижения индивидуальных рекомендаций по обработке карбидокремниевых структур с обеспечением требуемого качества поверхностного слоя при должном уровне производительности технологического процесса.
Ключевые слова:
карбид кремния, абразивная обработка, качество поверхностных структур
карбид кремния, абразивная обработка, качество поверхностных структур
1. Бишутин, С.Г. Совершенствование технологии финишной абразивной обработки пластин из карбида кремния/ С.Г. Бишутин, С.С. Алехин// Вестник Брянского государственного технического университета. - 2018. - №5(66). - С. 9-13.
2. Алехин С.C. Формирование микротрещин в поверхностных слоях карбидокремниевых пластин при финишной абразивной обработке// LVII Международные научные чтения (памяти Б.Г. Галеркина) - Москва: EФИР,2019. - 98 c.
