00839naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\99299 20260314102622.6 2223-4608 20250530b2025####ek#y0rusy0150####ca RU Развитие процесса импульсного лазерного осаждения наноразмерных структур Журнальная статья Брянск Брянский государственный технический университет 2025 6 с. Журнальная статья local испарением и конденсацией. 539.234 Шупенев Александр Евгеньевич Григорьянц Александр Григорьевич bstu.editorum.ru