00839naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200017900094210011800273215001000391608004500401675006200446700006000508700006800568856002100636RU\\bibl\9929920260323012032.1##a2223-4608##a20250530b2025####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aРазвитие процесса импульсного лазерного осаждения  наноразмерных структурeЖурнальная статья1#aБрянскcБрянский государственный технический университетd2025##a6 с.##aЖурнальная статья2local##aиспарением и конденсацией. 539.234#1aШупеневgАлександр Евгеньевич#1aГригорьянцgАлександр Григорьевич4#abstu.editorum.ru