01173naa#a2200217#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200019600094210011800290215001000408608004500418675020100463700005600664700005000720700006000770700005000830700005400880856002100934RU\\bibl\9137820250408014631.2##a2658-6436##a20241220b2024####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aИССЛЕДОВАНИЕ СКОРОСТИ УДАЛЕНИЯ ПИРОГЕННОГО SiO2  МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯeЖурнальная статья1#aБрянскcБрянский государственный технический университетd2024##a7 с.##aЖурнальная статья2local##aВзаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела. 533.924aЭлектрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3#1aАдамовgАртем Александрович#1aГоловкоgАлина Сергеевна#1aМалахановgАлексей Алексеевич#1aВасильеваgЮлия Олеговна#1aПавловgАлексей Викторович4#abstu.editorum.ru