LDR 01173naa#a2200217#i#450#
001     RU\\bibl\91378
005     20241221132630.6
011 ## _a2658-6436
100 ## _a20241220b2024####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aИССЛЕДОВАНИЕ СКОРОСТИ УДАЛЕНИЯ ПИРОГЕННОГО SiO2  МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
       _eЖурнальная статья
210 1# _aБрянск
       _cБрянский государственный технический университет
       _d2024
215 ## _a7 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aВзаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела. 533.924
       _aЭлектрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3
       _z
700 #1 _aАдамов
       _gАртем Александрович
700 #1 _aГоловко
       _gАлина Сергеевна
700 #1 _aМалаханов
       _gАлексей Алексеевич
700 #1 _aВасильева
       _gЮлия Олеговна
700 #1 _aПавлов
       _gАлексей Викторович
856 4# _abstu.editorum.ru
       _u