00988naa#a2200193#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200022500094210011800319215001000437608004500447675009500492700006000587700006200647700006400709856002100773RU\\bibl\8853020241221135815.6##a2658-6436##a20240930b2024####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aПРИМЕНЕНИЕ СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ В РЕВЕРС-ИНЖИНИРИНГЕ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫeЖурнальная статья1#aБрянскcБрянский государственный технический университетd2024##a8 с.##aЖурнальная статья2local##aЭлектрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3#1aМалахановgАлексей Алексеевич#1aПугачевgАлександр Анатольевич#1aМарковаgВалерия Константиновна4#abstu.editorum.ru