01261naa#a2200241#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200021900102210011800321215001000439608004500449675009300494686007300587686006800660686008000728700006000808700006400868700006600932856002100998RU\\bibl\3503420241219124804.4##a2223-4608##a20200226b2020####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aОсобенности распределения толщины DLC-пленок, получаемых методом импульсного лазерного осажденияeЖурнальная статья1#aБрянскcБрянский государственный технический университетd2020##a5 с.##aЖурнальная статья2local##aИнженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62zRUS##aОбщие вопросы машиностроения. 55.012grnti##aТехнология машиностроения. 55.132grnti##aМеталлургическое машиностроение. 55.352grnti#1aШупеневgАлександр Евгеньевич#1aКривошеевgАлександр Валерьевич#1aПономаренкоgСветлана Леонидовна4#abstu.editorum.ru