@article{Аубакирова2021математические, author={Аубакирова, В.Р. and Мукаева, Г.Р. and Фаррахов, Р.Г. and Буторин, А.В. and Парфенов, Е.В.}, title={МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ СВОЙСТВ ПОКРЫТИЙ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМАХ ПЭО}, conference={САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ 2021}, publisher={Брянский государственный технический университет}, year={2021}, pages={192-195}, }