TY  CONF
TI  ИДЕНТИФИКАЦИЯ СОСТОЯНИЙ ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ КАЛИБРОВКИ ЭТАЛОННЫХ МЕР НАНОМЕТРИИ
KW  контроль функционирования системы
KW  аппроксимация
KW  когнитивная модель
KW  технологический процесс
JO  САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ 2021
AU  Анцыферов, С.С.
AU  Фазилова, К.Н.
PY  2021
PB  Брянский государственный технический университет