%0 Conference Article
%T ИДЕНТИФИКАЦИЯ СОСТОЯНИЙ ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ КАЛИБРОВКИ ЭТАЛОННЫХ МЕР НАНОМЕТРИИ
%A Анцыферов, С.С.
%A Фазилова, К.Н.
%K контроль функционирования системы, аппроксимация, когнитивная модель, технологический процесс
%J САПР И МОДЕЛИРОВАНИЕ В СОВРЕМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ 2021
%D 2021
%P 3
%I Брянский государственный технический университет