TY  JOUR
TI  Развитие процесса импульсного лазерного осаждения  наноразмерных структур
KW  импульсное лазерное осаждение
KW  тонкие пленки
KW  алмазоподобные структуры
KW  высокотемпературный сверхпроводник. пленочный термоэлемент
KW  топологический изолятор
JO  Наукоёмкие технологии в машиностроении
AU  Шупенев, А.Е.
AU  Григорьянц, А.Г.
PY  2025
IS  2025
PB  Брянский государственный технический университет