@article{Шупенев2025развитие, author={Шупенев, А.Е. and Григорьянц, А.Г.}, title={Развитие процесса импульсного лазерного осаждения наноразмерных структур}, journal={Наукоёмкие технологии в машиностроении}, publisher={Брянский государственный технический университет}, year={2025}, pages={15-21}, volume={2025}, issue={5}, }