TY  JOUR
TI  ИССЛЕДОВАНИЕ СКОРОСТИ УДАЛЕНИЯ ПИРОГЕННОГО SiO2  МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
KW  травление
KW  скорость удаления
KW  пирогенный SiO2
KW  давление
KW  мощность
KW  газы
KW  температура
KW  установка реактивно-ионного плазмохимического травления
JO  Автоматизация и моделирование в проектировании и управлении
AU  Адамов, А.А.
AU  Головко, А.С.
AU  Малаханов, А.А.
AU  Васильева, Ю.О.
AU  Павлов, А.В.
PY  2024
IS  2024
PB  Брянский государственный технический университет