%0 Journal Article
%T ИССЛЕДОВАНИЕ СКОРОСТИ УДАЛЕНИЯ ПИРОГЕННОГО SiO2  МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
%A Адамов, А.А.
%A Головко, А.С.
%A Малаханов, А.А.
%A Васильева, Ю.О.
%A Павлов, А.В.
%K травление, скорость удаления, пирогенный SiO2, давление, мощность, газы, температура, установка реактивно-ионного плазмохимического травления
%J Автоматизация и моделирование в проектировании и управлении
%D 2024
%N 2024
%P 7
%I Брянский государственный технический университет