TY  JOUR
TI  ПРИМЕНЕНИЕ СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ В РЕВЕРС-ИНЖИНИРИНГЕ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫ
KW  сканирующая электронная микроскопия
KW  сечение
KW  подзатворный диэлектрик
KW  шина
KW  коэффициент запыленности
KW  реверс-инжиниринг
JO  Автоматизация и моделирование в проектировании и управлении
AU  Малаханов, А.А.
AU  Пугачев, А.А.
AU  Маркова, В.К.
PY  2024
IS  2024
PB  Брянский государственный технический университет