%0 Journal Article
%T ПРИМЕНЕНИЕ СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ В РЕВЕРС-ИНЖИНИРИНГЕ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫ
%A Малаханов, А.А.
%A Пугачев, А.А.
%A Маркова, В.К.
%K сканирующая электронная микроскопия, сечение, подзатворный диэлектрик, шина, коэффициент запыленности, реверс-инжиниринг
%J Автоматизация и моделирование в проектировании и управлении
%D 2024
%N 2024
%P 8
%I Брянский государственный технический университет