TY  JOUR
TI  Особенности распределения толщины DLC-пленок, получаемых методом импульсного лазерного осаждения
KW  алмазоподобные пленки
KW  DLC
KW  тонкие пленки
KW  импульсное лазерное осаждение
KW  эксимерный лазер
KW  эллипсометрия
KW  толщина тонких пленок
JO  Наукоёмкие технологии в машиностроении
AU  Шупенев, А.Е.
AU  Кривошеев, А.В.
AU  Пономаренко, С.Л.
PY  2020
IS  2020
PB  Брянский государственный технический университет