%0 Journal Article
%T Особенности распределения толщины DLC-пленок, получаемых методом импульсного лазерного осаждения
%A Шупенев, А.Е.
%A Кривошеев, А.В.
%A Пономаренко, С.Л.
%K алмазоподобные пленки, DLC, тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, эксимерный лазер, эллипсометрия, толщина тонких пленок
%J Наукоёмкие технологии в машиностроении
%D 2020
%N 2020
%P 5
%I Брянский государственный технический университет