@article{Шупенев2020особенности, author={Шупенев, А.Е. and Кривошеев, А.В. and Пономаренко, С.Л.}, title={Особенности распределения толщины DLC-пленок, получаемых методом импульсного лазерного осаждения}, journal={Наукоёмкие технологии в машиностроении}, publisher={Брянский государственный технический университет}, year={2020}, pages={35-40}, volume={2020}, issue={2}, }