TY JOUR TI Идентификация модели индукционного датчика и деконволюция спектра входного сигнала KW плазма KW тлеющий разряд KW деконволюции KW автоматизированная технологическая среда KW вакуумные установки JO Наукоёмкие технологии в машиностроении AU Досько, С.И. AU Логвин, В.А. AU Шептунов, С.А. AU Юганов, Е.В. PY 2018 IS 2018 PB Брянский государственный технический университет