%0 Journal Article
%T ОПТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ УСТАНОВКИ ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО  КОНТРОЛЯ НАД ПРОЦЕССОМ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА
%A Поярков , В.Н.
%A Белкин  , Е.А.
%A Марков , О. .
%K оптическая схема, профилограф, рентгенопрофилограф, топография микрорельефа, голографический контроль
%J Вестник Брянского государственного технического университета
%D 2016
%N 2016
%P 8
%I Брянский государственный технический университет