г. Москва и Московская область, Россия
сотрудник
Могилев, Беларусь
Москва, г. Москва и Московская область, Россия
Москва, г. Москва и Московская область, Россия
Представлены результаты исследований по деконволюции сигнала с измерительного тракта индукционного датчика, что позволяет использовать его для мониторинга и контроля процесса обработки в тлеющем разряде в контролируемых технологических средах с целью оптимизации и воспроизводимости результатов в автоматизированных технологических средах. Использование индукционного датчика позволяет установить влияние изменения формы и амплитуды регистрируемых электро-магнитных импульсов на изменение среднеинтегральной величины тока в разряде, а также определять время выхода установки на рабочий режим, осуществлять оперативное вмешательство на ход процесса и контролировать его завершение.
плазма, тлеющий разряд, деконволюции, автоматизированная технологическая среда, вакуумные установки
1. Prony, R. Essai experimental et analytique // Journal de l’Ecole Polytechnique. Paris. 1796. V. 1, I. 2.
2. Марпл, С.Л. - мл., Цифровой спектральный анализ и его применения // пер. с англ. - М.: Мир, 1990. - 584 с.
3. Кухаpенко, Б.Г. Технология спектpального анализа на основе быстpого пpеобpазования Пpони // Инфоpмационные технологии. - 2008. - № 4. - С. 38-42.
4. Булгаков, Б.В. Колебания. -М.: Гос. изд. технико-теоретической литературы, -1954.
5. Киренков, В.В., Досько С.И. Типовые обратные задачи и методы их решения при оценке результатов испытаний изделий РКТ // Ракетно-космическая техника. Труды. Сер.XII. Вып. 3. Королев: РКК «Энергия». - 2014. - 100 с.
6. Велихов, Е. П. Физические явления в газовой плазме. - М.: Наука, - 1987. - 159 с.
7. Физический энциклопедический словарь / Гл. ред. А.М. Прохоров; ред. кол. Д.М. Алексеев, А.М. Бонч-Бруевич, А.С. Боровик-Романов [и др.]. - М.: Сов. Энциклопедия, 1983. - 928 с.
8. Логвин В.А., Редько В.П., Волченков А.В., Логвина Е.В., Терешко И.В. Пат. № 9963 Респ. Беларусь, МПК С23С 14/38. // Афiцыйны бюл. / Нац. цэнтр iнтэлектуал. улас-насцi. - 2014. - № 1. - С. 205.
