Представлены результаты исследований изменений дислокационной структуры α-Fe после воздействия тлеющего разряда. Установлено, что обработка в тлеющем разряде приводит к существенным изменениям дислокационной структуры на значительной глубине от облучаемой поверхности малодефектных в исходном состоянии материалов, что продемонстрировано на примере α-Fe. При этом выявлено, что закономерности формирования сложных дислокационных субструктур в результате воздействия плазмы тлеющего разряда близки к тем, которые наблюдаются при различных видах пластической деформации