00881naa#a2200217#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200009800094210005400192215001000246608002700256675020100283700003300484700002900517700003400546700003100580700003100611856002100642EN\\bibl\9137820241221120628.6##a2658-6436##a20241220b2024####ek#y0engy0150####ca##aRU1#aINVESTIGATING THE REMOVAL RATE OF PYROGENIC SiO2  BY PLASMA CHEMICAL ETCHINGeJournal article1#aBryanskcBryansk State Technical Universityd2024##a7 с.##aJournal article2local##aВзаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела. 533.924aЭлектрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3#1aAdamovgArtem Aleksandrovich#1aGolovkogAlina Sergeevna#1aMalakhanovgAlexey Alexeevich#1aVasil'evagYuliya Olegovna#1aPavlovgAlexey Viktorovich4#abstu.editorum.ru