00718naa#a2200169#i#4500001001600000005001700016011001400033100004100047102000700088200009600095210005400191215001000245608002700255675021700282700002800499856002100527EN\\bibl\12624120260818164754.2##a2658-3488##a20260630b2026####ek#y0engy0150####ca##aRU1#aFUNCTIONAL MODEL OF EQUIPMENT CONTROL  FOR MICROELECTRONICS MANU-FACTURINGeJournal article1#aBryanskcBryansk State Technical Universityd2026##a5 с.##aJournal article2local##aСистемы автоматического управления (САУ). Кибернетические характеристики систем. Системы по принципу действия. 681.51#1aDantsevgOleg Olegovich4#abstu.editorum.ru